Разработка топологии тестовых структур и топологии МИС СВЧ, разработка файлов для электронной литографии и изготовления фотошаблонов
Разработка топологии тестовых структур для характеризации параметров элементов монолитных интегральных схем (МИС)
Разработка топологии МИС СВЧ, согласование их с технологами, внесение необходимых изменений
Разработка и подготовка файлов для электронной литографии с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений
Разработка и подготовка файлов для изготовления фотошаблонов с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений
Применять метод декомпозиции при анализе тестовых структур и МИС СВЧ
Оценивать допуски на элементы при межоперационном контроле параметров
Переходить от схемы принципиальной электрической к топологии МИС СВЧ, используя систему автоматизации проектирования (САПР)
Планировать и оптимизировать контрольные операции в процессе прохождения пластин по технологическому маршруту
Осуществлять разработку топологии тестовых структур на пластине для проведения межоперационного контроля совместно с технологами
Выбирать методики измерения параметров тестовых структур при межоперационном контроле технологического процесса
Выбирать оборудование для межоперационного контроля
Анализировать статистическими методами результаты измерения параметров тестовых структур и делать заключение об их нахождении в пределах заданных допусков, приемлемых для достижения технических требований на МИС
Рассчитывать параметры МИС с учетом особенностей топологии
Разрабатывать техническое задание на изменение технологии
Взаимодействовать с технологическими подразделениями при передаче топологии в производство
Подготавливать файлы необходимых форматов для электронных шаблонов проекционной литографии
Работать на установке изготовления фотошаблонов
Основы технологии производства МИС СВЧ
Основы статистического анализа
Методы статистической обработки данных и теории чувствительности устройств к разбросам параметров компонент
Теория и методы планирования эксперимента
Методики межоперационного контроля
Параметры гетероструктур и материалов, применяемых в технологии МИС СВЧ
Теория допусков применительно к наноэлектронике СВЧ
Методы разработки библиотек моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ
Современные системы проектирования топологии СВЧ-устройств и МИС СВЧ
Топологические библиотеки моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ
Оборудование для измерения и контроля параметров тестовых структур и МИС СВЧ
Методология системы менеджмента качества
Основы технологии электронной литографии
Методики и нормативная документация на подготовку конструкторской документации (КД) для электронной литографии
Основы технологии изготовления фотошаблонов для проекционной литографии
Методики и нормативная документация на подготовку КД для изготовления фотошаблонов
Деятельность, направленная на создание топологий МИС СВЧ, являющихся интеллектуальным продуктом, защищаемым авторами как «Топология ИС»